2023年3月15日
各品種の主な【用途や特徴】からお客様のご要望に適した品種の選定をすることが可能です。
品種名 | KF010C | K020C | E020CS | E030CS | HL05 |
主な用途 | 【コロイダルシリカ代替用として 開発された超セリア研磨材】 | 【超仕上げ用】 | 【超仕上げ用】 | 【仕上げ用】 | |
高結晶性単分散粒子の研磨スラリーで面精度重視。 | 微粒子の凝集体で研磨レート重視。 | 水晶やフィルターガラス(ブルーガラス)等のファイナルポリッシュでコロイダルシリカ代替にも相当します。 | 乾粉では最も粒径が細かいタイプ。石英基板の最終研磨などに使用されています。 | ||
組成 | Ce | Ce | La/Ce/Pr | La/Ce/Pr | La/Ce |
形態 | スラリー | スラリー | スラリー | スラリー | 乾粉 |
比表面積(㎡/g) | - | - | - | - | 18.1 |
D50(㎛) | 0.05 ※2 | 0.10 ※1 | 0.12 ※1 | 0.26 ※1 | 0.73 ※1 |
品種名 | HLS0 | HLS2 | HLS3 | HLSS |
主な用途 | 【仕上げ用】 | 【1次研磨~仕上げ用】 | 【1次研磨用】 | 【1次研磨用】 |
各種精密研磨の分野で多くの実績あり。最終仕上げ用などに使用されている品種となります。 | 研磨レート、仕上げ面品位、ライフ特性にバランスの取れたタイプ。1次研磨~仕上げ研磨まで汎用性のある品種となります。 | 1次研磨用の標準品種。研磨レート重視の品種となります。 | 乾粉では最も粒径が粗いタイプ。特に、研磨レートに特化した品種となります。 | |
組成 | La/Ce | La/Ce | La/Ce | La/Ce |
形態 | 乾粉 | 乾粉 | 乾粉 | 乾粉 |
比表面積(㎡/g) | 7.5 | 3.5 | 2.7 | 1.5 |
D50(㎛) | 0.89 ※1 | 1.19 ※1 | 1.41 ※1 | 2.04 ※1 |
※1:堀場社製測定装置による測定値
※2:大塚電子製測定装置(動的光散乱法)による測定値
尚、上記数値は代表値であり保証値ではございません。