精密研磨用PAD《ベラトリクス》

BELLATRIX（ベラトリックス）はガラス、シリコンウエハ、半導体材料の高精度研磨加工用に開発されたパッドです。

ほぼ全ての工程をFILWEL社内で製造を行っており、さまざまなお客様のニーズに対応出来るラインアップを揃えております。
加工時間短縮・表面粗さの微細化等、ご要望御座いましたら是非ご相談下さい。

前工程から後工程へ、ベストなご提案をさせて頂きます。
また両面テープ加工、指定サイズ裁断、溝、砥粒孔加工等、ご要望にも対応可能です。

製品紹介（一部）

【N7512】

不織布ベース・NAP層とも柔らかく設計されており、表面粗さ・表面欠陥の低減に大きな効果が期待できます。
特にマスクブランクス研磨工程で多くのお客様にご使用頂いております。

【NP515】

PETベースと硬質のNAPの組み合わせで、研磨力UPに効果を発揮致します。
「研磨時間は短くしつつ、後工程も楽にしたい」お客様に最適なPADです。

【K0034】

不織布ベース・NAP層とも中間の硬さで、耐薬品性もありオールマイティーなPADです。
「とりあえず」のスタンダードPADとしてお試し下さい。

【二次加工】
ご希望のサイズ・形状（丸型、角型、ドーナツ型等）、及び砥粒孔を開けての提供も可能です。PAD張り付け時の労力を大幅に減らせます。

またお客様の研磨加工条件に応じ溝加工、各種両面テープもご用意しております。

＜問合せ先＞
八千代マイクロサイエンス株式会社
研削研磨事業部　営業部
TEL：03-3256-6011（東京）／TEL：06-6948-6671（大阪）
E-Mail：eigyo@ymi.co.jp