2023年3月15日
研削研磨に関わる情報・現場の声をお届けします📡
酸化セリウム研磨剤を 研磨レートから選ぶ
★酸化セリウム研磨材「ミレーク（MIREK）」
【研磨レート】を品種を選ぶ際の指標として頂ければと思います。
「研磨値」は弊社八王子R&Dセンターで行った評価テストの結果となりますが、研磨レートと粒径との関係で品種選定の参考にして下さい。
| 品種名 | HL05 | HLS0 | HLS2 | HLS3 | HLSS |
| 研磨値 (㎛/min) |
7.5 | 8.9 | 31.3 | 35.0 | 36.8 |
| 組成 | La/Ce | La/Ce | La/Ce | La/Ce | La/Ce |
| 形態 | 乾粉 | 乾粉 | 乾粉 | 乾粉 | 乾粉 |
| 比表面積(㎡/g) | 18.1 | 7.5 | 3.5 | 2.7 | 1.5 |
| D50(㎛) ※1 | 0.73 | 0.89 | 1.19 | 1.41 | 2.04 |
※1：堀場社製測定装置による測定値
尚、上記数値は代表値であり保証値ではございません。
《研磨条件》
| 加工条件 ＼ 品種 | HL05、HL0S | HLS2、HLS3、HLSS |
| 回転数（rpm） | 1,500 | 2,800 |
| スラリー濃度（wt%） | 10.0 | 16.7 |
| 加工圧力（g/㎠） | 450 | 900 |
| 使用研磨パッド | ポリウレタンパッド（LP46） | ポリウレタンパッド（LP46） |
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